隨著精密制造和光電子領(lǐng)域的快速發(fā)展,對機(jī)械運(yùn)動部件相關(guān)參數(shù)的高精度實時檢測變得越來越重要。為實現(xiàn)物體納米精度的微位移傳感與測量更是具有至關(guān)重要的意義。精密制造業(yè)中精細(xì)加工質(zhì)量的保證取決于設(shè)備中主要傳感器給出的傳感精度,沒有高精度的傳感手段和儀器,加工精度根本無法保證。我們知道在精密儀器中,任何復(fù)雜的執(zhí)行動作都是由齒輪的轉(zhuǎn)動、微鏡的轉(zhuǎn)動、傳動桿的滑動以及活塞的往復(fù)運(yùn)動等單元動作組合而成,這些單元動作都可轉(zhuǎn)換成兩垂直方向的微位移。因此,任何操作的準(zhǔn)確實現(xiàn)都是基于兩垂直方向微位移的準(zhǔn)確控制,而微位移的準(zhǔn)確控制的前提是它們的高精度傳感和測量。
全光纖位移干涉測速儀是一種用于安全科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的計量儀器,利用等光程相干原理和光纖延遲線,大大降低了系統(tǒng)對光源相干性及帶寬的要求。系統(tǒng)造價低廉,調(diào)試簡單,輕巧易于使用,能夠靈活更換延遲光纖滿足不同的測試要求,有著廣泛的應(yīng)用前景。但采用的光纖準(zhǔn)直器口徑普遍較小,一般在毫米量級,工作距離有限,在漫反射情況下難以收集漫反射光。
全光纖位移干涉測速儀的特點:
1、采用交流放大器,更穩(wěn)定,抗環(huán)境干擾能力更強(qiáng);
2、采用高倍電子細(xì)分,可達(dá)納米級分辨率;
3、采用光纖傳輸,裝調(diào)更便捷,更容易實現(xiàn)多軸同步測量;
4、具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。